Questo setup customizzato è composto da quattro punte in metalliche equidistanti (0.75 mm). Ogni punta è supportata su un’estremità da molle così da ridurre al minimo i danni al campione durante le misure. Le quattro punte metalliche fanno parte di uno stage controllabile manualmente in direzione verticale e consente un caricamento facilitato dei campioni.
 
Il sistema è posto in una camera da vuoto dotata di una pompa rotativa e (opzionalmente) di una pompa turbo.
 
Il sistema misura resistenza di strato e la resistività dei campioni in un intervallo di temperatura fino a 350 °C. La corrente e la tensione necessarie alla misura vengono applicate e misurate rispettivamente mediante un generatore di corrente (Keithley 6220) ed un nanovoltmetro (Keithley 2182A). La separazione degli elettrodi di tensione e corrente permette di eliminare la resistenza di contatto dalla misura.
 
Le misure possono anche essere eseguite in un flusso di gas costante.